• 支持8寸wafer,向下能兼容6寸
• 探针自动对准系统,多组mapping参数保存及调用
• 支持光学影像,独立/联动于WAFER台
• 水平/垂直3轴运动
• WAFER固定盘控温功能(能稳定在25度,精度+ -0.5度)
• 支持Lot盒内wafer的自动装配和回放,防刮伤
• 支持RS232控制
• 支持8寸wafer,向下能兼容6寸
• 探针自动对准系统,多组mapping参数保存及调用
• 支持光学影像,独立/联动于WAFER台
• 水平/垂直3轴运动
• WAFER固定盘控温功能(能稳定在25度,精度+ -0.5度)